半導(dǎo)體、液晶面板等信息產(chǎn)業(yè)中設(shè)備制造用驅(qū)動裝置有滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌和滾動軸承，他們的潤滑脂導(dǎo)致的顆粒具有惡劣影響。潤滑脂產(chǎn)生的顆粒是半導(dǎo)體制造過程中的污染源，是導(dǎo)致失去產(chǎn)品價值的缺陷的主要原因。
以往的環(huán)境下一般使用蒸發(fā)量小的氟素系潤滑脂，但存在摩擦力矩，耐磨性及耐蝕性等問題。但是市售的以礦物油和合成油為基油的潤滑脂產(chǎn)塵量過大，存在不適合清潔環(huán)境的問題。
為了改善這個問題，NSK開發(fā)了清潔環(huán)境用LG2、LGU潤滑脂
產(chǎn)塵量與動摩擦力矩的變化關(guān)系如圖1、2所示。
- LG2潤滑脂通過最合適的配比，在嚴格精密的制作條件下，實現(xiàn)的低產(chǎn)塵性。同時具有耐磨損性、耐蝕性和低摩擦力矩等優(yōu)異特性的潤滑脂。
- LGU潤滑脂則在LG2潤滑脂之上，具有更高的溫度使用范圍，同時從配方成分去除了金屬元素。
表1顯示了低產(chǎn)塵性潤滑脂的性能。
