特點
近年信息產業的崛起,使半導體和液晶制造設備所使用的直線導軌的數量急劇增加。
在這些制造工程中存在氧化、擴散等熱處理工程,其周邊裝置所使用的直線導軌也必須具有耐熱性。
在此介紹用于此處的NSK直線導軌耐熱系列。
1. 可使用在耐熱性150℃(瞬時200 ℃ )
使用塑料制循環部件的標準直線導軌最高使用環境溫度為80 ℃。超過此溫度使用于高溫環境時,請使用耐熱規格的直線導軌。
端蓋使用SUS材料金屬粉末射出成型品,密封圈和側密封圈使用含氟橡膠的NSK直線導軌耐熱系列可使用于150℃(瞬時200 ℃ )的環境中。
2. 耐蝕性
使用SUS材料所制的端蓋和含氟橡膠材料所制的底密封圈和側密封圈,進而具有耐蝕性。
3. 多種應對系列
應對系列如下表所示具有多種系列,通過各種規格,能廣泛應對各種需求。
另有耐熱波紋防護罩。
