特點
各類產業機械為了實現大量生產、提高性能的目的，大容量化、小型輕量化（細微化）、高精度化、高速化以此為開發目標。特別在半導體制造設備中，隨半導體的發展對開發速度也提出了要求。為了解決各類問題，逐漸開發了滿足各自用途的引導裝置。甚至在半導體制造設備中，特別要求低發塵（潤滑脂）、長壽命（免維護）這樣的性能。NSK將實現了高精度?清潔 ?免維護的非接觸式直驅滑動進行了商品化。
【用途】
- 半導體相關的制造?檢測裝置（薄晶片、薄膜）
- 液晶相關的制造?檢測裝置（彩色膠片、薄膜）
- 磁盤?光盤相關的制造?檢測裝置
- 緊密細微加工機械
- 各類檢測裝置
1. 使用DC無刷電機實現高運動精度
通過使用無齒槽DC無刷電機實現高運動精度。
2. 由于非接觸式引導速度的起伏很小
由于非接觸式引導的空氣滑塊使速度的起伏很小。
3. 實現低發塵?免維護
采用空氣滑塊的非接觸式引導和無刷電機，獲得完全非接觸式的運動實現了低發塵?免維護。
4. 結構部件的精度壽命長
結構部件均采用全陶瓷，實現了長精度壽命。
5. 采用混合軸承構造實現了輕量薄型
靜壓多孔質的浮力與永磁體的吸引力之間取得平衡的混合軸承構造實現了輕量薄型化。